模拟型气体质量流量控制器

技术参数

量程： 5sccm～3000slm(N2当量）

精度： ±1.0%F.S

量程比： 50: 1 (流量控制器） 100: 1 (流量计）

重复精度： ±0.2%F.S

线性精度： ±0.5%F.S

环境温度： 5～45°C

温度系数：＜±0.1%F.S/°C

压力系数：＜±0.5%bar

泄漏率： <2* 10^-8satm. ml/S

最大耐压： 3MPa (流量小于30slm 可选6MPa)

供电： +15～24vdc

模拟信号：0～5vdc 或4～20mA

连接方式：卡套式连接或VCR连接

（连接尺寸根据客户需求而定）