数字型气体质量流量控制器

技术参数

量程:  5sccm～300oslm(N2当量)

精度:  ±1.0%F.S

量程比:  50:1(流量控制器）100:1(流量计）

重复精度:  ±0.2%F.S

线性精度:  ±0.5%F.S

环境温度:  5～45℃

温度系数:  <±0.1%F.S/℃

压力系数:  <±0.5%bar

泄漏率:  <2*10^-8atm.ml/S

最大耐压:  3MPa（流量小于30slm可选6MPa)

供电:  24vdc或±15vdc

模拟信号:  0～5vdc或4～20mA

数字信号:  液晶显示RS232RS、485(Modbus-RTU)

连接方式:  卡套式连接或VCR连接

(连接尺寸根据客户需求而定)