数字型质量流量控制器

技术参数

量程：  5sccm～300slm(N2当量）

300g/h～20kg/h (H20当量）

精度： ±1.0%F.S

量程比： 50: 1 (流量控制器） 100: 1 (流量计）

重复精度： ±0.2%F.S

线性精度： ±0.5%F.S

环境温度： 5～45°c

温度系数：＜±0.1%F.S/°C

压力系数：＜±0.5%bar

泄漏率：  <2*10^-8satm.ml/S

最大耐压： 3MPa(可选6MPa)

供电：    24vdc或±15vdc

模拟信号： 0～5vdc 或4～20mA

数字信号：液晶显示RS232、RS485(Modbus-RTU)

连接方式：卡套式连接或VCR连接

（连接尺寸根据客户需求而定）